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标题
Fabrication of Microcrystalline Silicon Thin Film by Ionized Physical Vapor Deposition Process
电离物理气相沉积法制备微晶硅薄膜
相关领域
微晶硅 材料科学 制作 化学气相沉积 微晶 沉积(地质) 薄膜 物理气相沉积 过程(计算) 纳米技术 光电子学 化学工程 工程物理 计算机科学 晶体硅 化学 非晶硅 工程类 结晶学 地质学 古生物学 病理 替代医学 操作系统 医学 沉积物
网址
DOI
10.3390/cryst15020106 doi
其它 期刊:Crystals
作者:Rimlee Saikia; B. Kakati; Tonmoi Hazarika; Shivam Sharma; Tapan Rajbongshi; et al
出版日期:2025-01-22
求助人
路客 在 2025-08-29 21:38:07 发布,悬赏 10 积分
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