求助中
  • 文献求助详情
标题
High-volume production stepper for x-ray lithography
相关领域
步进电机 薄脆饼 平版印刷术 吞吐量 覆盖 计量学 材料科学 光学 极紫外光刻 光刻 晶片测试 千分尺 计算机科学 光电子学 纳米技术 物理 电信 无线 程序设计语言
网址
DOI
10.1117/12.275773 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:Klaus Simon; R. L. Macklin; Robert A. Selzer; Q. Leonard; F. Cerrina
出版日期:1997-07-07
求助人
情怀 在 2025-10-15 10:26:46 发布自河北,悬赏 20 积分
下载 暂无链接,等待应助者上传
 
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
提交工单
求助 / 应助时间线
  • 现在,等待您上传文献

  • 4天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献,机器人已退出,请等待人工下载

    10:26:51 未找到该文献,机器人已退出,请等待人工下载
    10:26:48 科研通AI机器人(澳大利亚 悉尼)收到请求,开始寻找文献
    10:26:46 已向机器人发送请求
  • 4天前

    情怀 情怀 Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Orange应助冰海采纳,获得10
刚刚
曹梓聪发布了新的文献求助10
1秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
2秒前
姜姜姜完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
4秒前
写手一号关注了科研通微信公众号
4秒前
奶油果泥发布了新的文献求助10
4秒前
大海之滨完成签到,获得积分10
8秒前
包容问雁发布了新的文献求助30
9秒前
ttyhtg完成签到,获得积分10
9秒前
NexusExplorer应助ruxinw采纳,获得10
9秒前
Rocc完成签到,获得积分10
10秒前
可爱的函函应助程12345采纳,获得10
10秒前
Ava应助兹恩采纳,获得10
11秒前
11秒前
研友_Zb1rln发布了新的文献求助10
11秒前
18秒前
19秒前
20秒前
威武的嫣然完成签到,获得积分10
21秒前
不配.应助三百一十四采纳,获得50
21秒前
大个应助写手一号采纳,获得10
21秒前
22秒前
22秒前
小明应助薄薄的厚片采纳,获得10
23秒前
happyou发布了新的文献求助10
24秒前
左友铭发布了新的文献求助10
25秒前
程12345发布了新的文献求助10
25秒前
星辰大海应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
无花果应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
tuanheqi应助科研通管家采纳,获得150
27秒前
香蕉觅云应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
无极微光应助科研通管家采纳,获得20
27秒前
27秒前
科研通AI5应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
科研通AI5应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
科研通AI5应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
27秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Zeolites: From Fundamentals to Emerging Applications 1500
Encyclopedia of Materials: Plastics and Polymers 1000
Architectural Corrosion and Critical Infrastructure 1000
Early Devonian echinoderms from Victoria (Rhombifera, Blastoidea and Ophiocistioidea) 1000
Hidden Generalizations Phonological Opacity in Optimality Theory 1000
Handbook of Social and Emotional Learning, Second Edition 900
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4920130
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4191826
关于积分的说明 13019278
捐赠科研通 3962434
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2172074
邀请新用户注册赠送积分活动 1189979
关于科研通互助平台的介绍 1098773