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  Pit Formation Induced by Copper Contamination on Silicon Surface Immersed in Dilute Hydrofluoric Acid Solution 稀氢氟酸溶液中硅表面铜污染引起的凹坑形成
相关领域
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Noritomo Mitsugi; Kiyoshi Nagai 出版日期：2004-01-01 |
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