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Fabrication of 4-Inch Nano Patterned Wafer with High Uniformity by Laser Interference Lithography
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网址
https://doi.org/10.1088/0256-307x/35/5/054207
DOI
10.1088/0256-307x/35/5/054207 doi
其它 期刊：Chinese Physics Letters
作者：Gen Yue; Yu Lei; Junhui Die; Haiqiang Jia; Hong Chen
出版日期：2018-05-01
求助人
研友_Z7QXwL 在 2025-10-27 10:31:51 发布自广东，悬赏 10 积分
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