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Effect of nitrogen partial pressure on the piezoresistivity of magnetron sputtered ITO thin films at high temperatures
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网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.155292 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Zhichun Liu; Junsheng Liang; Hao Zhou; Hongyi Sun; Wenqi Lu; et al
出版日期:2022-10-15
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