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 First demonstration of FinFET split-gate MONOS for high-speed and highly-reliable embedded flash in 16/14nm-node and beyond 首次展示用于16/14 nm节点及以上的高速高可靠嵌入式闪存的FinFET分裂栅极单声道
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期刊： 作者：Shibun Tsuda; Yoshiyuki Kawashima; K. Sonoda; A. Yoshitomi; Tatsuyoshi Mihara; et al 出版日期：2016-12-01 |
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