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标题
Reinforcement Learning-Optimized Adaptive LESO for Disturbance Rejection in Magnetically Suspended Turbo Molecular Pumps
网址
https://doi.org/10.1109/tsm.2025.3638245
DOI
10.1109/tsm.2025.3638245 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Shiqiang Zheng; Mohan Hao; Kun Mao; Wenyue Ma; Xue Han; et al
出版日期：2025-01-01
求助人
一只小学弱 在 2026-01-28 14:41:10 发布自河北，悬赏 10 积分
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