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标题
Aspect ratio and height estimation in critical dimension scanning electron microscope metrology using deep learning combined with features of proximity effect
基于深度学习结合邻近效应特征的临界尺寸扫描电镜计量中的纵横比和高度估计
相关领域
临界尺寸 计量学 扫描电子显微镜 维数（图论） 材料科学 光学 纳米光刻 电子显微镜 纵横比（航空） 纳米技术 人工智能 光电子学 计算机科学 物理 数学 复合材料 制作 病理 纯数学 替代医学 医学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004025
DOI
10.1116/6.0004025 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Delong Chen; Qingmao Zhang; Zhuming Liu
出版日期：2025-02-11
求助人
狂野雁丝 在 2025-06-23 00:30:49 发布自广东，悬赏 10 积分
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