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  Ultra-thin PZT/Si chip integrated on paper substrates 纸基上集成的超薄PZT/Si芯片
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Takahiro Yamashita; Toshihiro Takeshita; Atsushi Oouchi; Takeshi Kobayashi 出版日期：2021-07-12 |
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