Synthesis and Characterization of LPCVD Polysilicon and Silicon Nitride Thin Films for MEMS Applications

已完结

文献求助详情

标题	Synthesis and Characterization of LPCVD Polysilicon and Silicon Nitride Thin Films for MEMS Applications 用于MEMS应用的LPCVD多晶硅和氮化硅薄膜的合成与表征相关领域材料科学残余应力化学气相沉积微电子机械系统氮化硅退火（玻璃）薄膜多晶硅耗尽效应表面微加工复合材料沉积（地质）光电子学硅纳米技术制作电气工程病理古生物学栅氧化层电压工程类晶体管替代医学生物医学沉积物
网址	http://downloads.hindawi.com/archive/2014/954618.pdf
DOI	10.1155/2014/954618 doi
其它	期刊：Journal of Materials 作者：N. Sharma; M. Hooda; S. K. Sharma 出版日期：2014-04-15
求助人	Luke 在 2025-03-28 10:56:17 发布自湖南，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

活动

『应助活动周』获奖名单已公布 🔥 (2025-4-2)

更新

『中科院2025期刊分区』已更新 (2025-3-23)

更新

『即时热点』模块已上线 (2025-2-28)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 小二郎上传了应助文件

12秒前; 笑笑发布了新的文献求助10

17秒前; 安静的瑾瑜完成签到，获得积分10

21秒前; 淡定的安柏完成签到，获得积分10

22秒前; 笑笑完成签到，获得积分10

34秒前; 月亮完成签到，获得积分10

41秒前; FashionBoy的应助被科研通管家采纳，获得10

52秒前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

52秒前; 灵巧的语兰关注了科研通微信公众号

54秒前; Li完成签到，获得积分10

54秒前; rengar完成签到，获得积分10

1分钟前; 稻子完成签到，获得积分10

1分钟前; 王桑完成签到，获得积分10

1分钟前; 望其项背完成签到，获得积分10

2分钟前; 小胡爱科研完成签到，获得积分10

2分钟前; bkagyin上传了应助文件

2分钟前; 朱佳慧发布了新的文献求助10

2分钟前; 科研通AI5的应助被zbw采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI5上传了应助文件

2分钟前; zbw完成签到，获得积分20

2分钟前; zbw发布了新的文献求助10

2分钟前; 深情安青的应助被wwzp采纳，获得10

3分钟前; 归尘上传了应助文件

3分钟前; 传奇3的应助被李小猫采纳，获得10

3分钟前; 传奇3上传了应助文件

3分钟前; 李小猫完成签到，获得积分10

3分钟前; 李小猫发布了新的文献求助10

3分钟前; 大力发布了新的文献求助30

4分钟前; 归尘上传了应助文件

4分钟前; Loualens完成签到，获得积分20

4分钟前; 帕金森完成签到，获得积分10

4分钟前; suicone完成签到，获得积分10

4分钟前; 深情安青上传了应助文件

4分钟前; wwzp发布了新的文献求助10

4分钟前; 李爱国的应助被敏感剑鬼采纳，获得10

5分钟前; 大力完成签到，获得积分10

5分钟前; 思源上传了应助文件

5分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

5分钟前; 淡定的井发布了新的文献求助30

5分钟前; 超级无敌万能小金毛完成签到，获得积分10

6分钟前