Time-Constrained Single-Armed Cluster Tools Requiring Chamber Cleaning Operations: Schedulability Analysis and Scheduling Approaches

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标题	Time-Constrained Single-Armed Cluster Tools Requiring Chamber Cleaning Operations: Schedulability Analysis and Scheduling Approaches 相关领域调度（生产过程）计算机科学星团（航天器）工程类操作系统运营管理
网址	https://doi.org/10.1109/tsmc.2025.3551205
DOI	10.1109/tsmc.2025.3551205 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Systems Man and Cybernetics Systems 作者：Lu Zhen; Xiaoqin Zhang; Fajun Yang; MengChu Zhou; Yusuf Al‐Turki 出版日期：2025-04-08
求助人	李子恒在 2025-11-08 22:31:57 发布自湖北，悬赏 10 积分
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