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The evaluation of assist feature defect printability for sub-0.13-μm technology
0.13 μ m以下辅助特征缺陷印刷适性的评价
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巴（单位） 薄脆饼 材料科学 失真（音乐） 光学 光电子学 物理 CMOS芯片 放大器 气象学
网址
https://doi.org/10.1117/12.536115
DOI
10.1117/12.536115 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Changyoung Jeong; Young K. Kim; Ki-Yeop Park; Jae Seok Choi; Jeong Gun Lee
出版日期：2004-05-28
求助人
科研废柴 在 2025-10-27 07:34:29 发布自广东，悬赏 20 积分
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