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  Design and Fabrication of Silicon Pressure Sensors Based on Wet Etching Technology 相关领域
制作
材料科学
硅
蚀刻（微加工）
压力传感器
纳米技术
干法蚀刻
微电子机械系统
光电子学
工程类
机械工程
医学
病理
替代医学
图层（电子）
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期刊：Micromachines 作者：Fengchao Li; Shuangjing Yan; Cheng Lei; Dandan Wang; Xi Wei; et al 出版日期：2025-04-28 |
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