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标题
Influence of carrier gas pressure and flow rate on atomic layer deposition of HfO2 and ZrO2 thin films
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943320...
DOI
10.1016/j.apsusc.2005.07.067 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Jaan Aarik; Aleks Aidla; Aarne Kasikov; Hugo Mändar; Raul Rammula; et al
出版日期：2005-09-23
求助人
平淡伊布 在 2026-09-17 11:15:27 发布自北京，悬赏 10 积分
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