Undeformed chip width non-uniformity modeling and surface roughness prediction in wafer self-rotational grinding process

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标题	Undeformed chip width non-uniformity modeling and surface roughness prediction in wafer self-rotational grinding process
网址	https://doi.org/10.1016/j.triboint.2022.107547
DOI	10.1016/j.triboint.2022.107547 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Hongfei Tao; Yuanhang Liu; Dewen Zhao; Xinchun Lu 出版日期：2022-03-25
求助人	杨文化在 2026-07-23 20:24:33 发布自湖南，悬赏 10 积分
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