Optical properties of silicon oxynitride films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition

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标题	Optical properties of silicon oxynitride films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060902...
DOI	10.1016/j.tsf.2021.138887 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：R. Aschwanden; R. Köthemann; M. Albert; C. Golla; C. Meier 出版日期：2021-08-24
求助人	落寞书翠在 2026-08-24 17:20:00 发布自北京，悬赏 10 积分
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