Nonlinear model and system identification of a capacitive dual-backplate MEMS microphone

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标题	Nonlinear model and system identification of a capacitive dual-backplate MEMS microphone
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0022460X0...
DOI	10.1016/j.jsv.2007.07.037 doi
其它	期刊：Journal of Sound and Vibration 作者：Jian Liu; David Martin; K. Kadirvel; T. Nishida; L. Cattafesta; et al 出版日期：2008-01-08
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