Toolbox of Advanced Atomic Layer Deposition Processes for Tailoring Large-Area MoS2 Thin Films at 150 °C

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标题	Toolbox of Advanced Atomic Layer Deposition Processes for Tailoring Large-Area MoS2 Thin Films at 150 °C
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.3c02466
DOI	10.1021/acsami.3c02466 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Miika Mattinen; Jeff J. P. M. Schulpen; Rebecca A. Dawley; Farzan Gity; Marcel A. Verheijen; et al 出版日期：2023
求助人	Harbing 在 2026-05-04 23:45:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
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