ReaxFF Molecular Dynamics Simulation and Experimental Validation of the Oxidation Mechanism of the C-Face of 6H-SiC Wafers under Different Hydroxyl Radical Concentrations

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标题	ReaxFF Molecular Dynamics Simulation and Experimental Validation of the Oxidation Mechanism of the C-Face of 6H-SiC Wafers under Different Hydroxyl Radical Concentrations
网址	https://doi.org/10.1021/acs.langmuir.6c00634
DOI	10.1021/acs.langmuir.6c00634 doi
其它	期刊：Langmuir 作者：Shi Chen; Jiayun Deng; Junjiang Zhou; Sha Li; Xianglin Mu; et al 出版日期：2026
求助人	要开心吖在 2026-04-07 15:21:55 发布自陕西，悬赏 10 积分
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