From order to disorder: Unveiling the catalytic superiority of mechanochemically activated α-MnO2 in chemical mechanical planarization of SiC wafer

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标题	From order to disorder: Unveiling the catalytic superiority of mechanochemically activated α-MnO2 in chemical mechanical planarization of SiC wafer
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2026.04.437
DOI	10.1016/j.ceramint.2026.04.437 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Xinxin Huang; Ruiting Feng; Zhiyuan Zhang; Wenrui Ma; Chenxi Dai; et al 出版日期：2026
求助人	章若楠在 2026-05-17 23:55:46 发布自陕西，悬赏 10 积分
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