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Conformally Overlaid Ferromagnetic Shadow Masks for Etching and Deposition Processes 相关领域
荫罩
光刻
反应离子刻蚀
制作
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铁磁性
材料科学
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覆盖
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光学
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期刊:Journal of microelectromechanical systems 作者:Minwoo Choi; Taeyeong Kim; Bong Jae Lee; Jaeman Song; Jungchul Lee 出版日期:2024-01-17 |
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