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标题
Effect of hydroxy carboxylates as complexing agent on improving chemical mechanical polishing performance of M-plane sapphire and action mechanism analysis
羟基羧酸盐络合剂对改善M面蓝宝石化学机械抛光性能的作用及机理分析
相关领域
蓝宝石 材料科学 化学机械平面化 X射线光电子能谱 抛光 泥浆 傅里叶变换红外光谱 化学工程 核化学 无机化学 复合材料 化学 光学 物理 工程类 激光器
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.11.132
DOI
10.1016/j.ceramint.2022.11.132 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Minghui Qu; Xinhuan Niu; Ziyang Hou; Han Yan; Fu Luo
出版日期：2023-03-01
求助人
健壮的紫菱 在 2024-02-12 20:14:46 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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