The growth behavior and properties of atomic layer deposited zinc oxide films using hydrogen peroxide (H2O2) and ozone (O3) oxidants

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标题	The growth behavior and properties of atomic layer deposited zinc oxide films using hydrogen peroxide (H2O2) and ozone (O3) oxidants
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.ceramint.2014.09.133
DOI	10.1016/j.ceramint.2014.09.133 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：J. Park; Tae-Hoon Jung; Jung-Hoon Lee; Hyun-Suk Kim; Jin-Seong Park 出版日期：2015-01-01
求助人	su 在 2026-10-30 18:16:29 发布自北京，悬赏 10 积分
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