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标题
Effects of Ar Plasma Treatment on the Properties of TaN/Ta Barrier for Copper Interconnects in Advanced 3D NAND Memory
网址
https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/2.01519...
DOI
10.1149/2.0151912jss doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Xianglie Sun; Shuliang Lv; Yuan Li; Jun Luo; Chi Huang; et al
出版日期：2019-12-03
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黄憨憨 在 2026-10-14 20:20:26 发布自安徽，悬赏 10 积分
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