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标题
Reactive magnetron sputter deposition of polycrystalline vanadium nitride films
多晶氮化钒薄膜的反应磁控溅射沉积
相关领域
材料科学 氮化钒 微晶 溅射沉积 溅射 无定形固体 分压 薄膜 基质(水族馆) 扫描电子显微镜 氮化物 复合材料 分析化学(期刊) 化学工程 冶金 结晶学 纳米技术 化学 海洋学 有机化学 色谱法 氧气 工程类 地质学 图层(电子)
网址
DOI
10.1116/1.580180 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science & technology
作者:Xinpu Chu; Scott A. Barnett; Ming‐Show Wong; William D. Sproul
出版日期:1996-11-01
求助人
zhang_23 在 2024-02-27 20:49:03 发布自上海,悬赏 10 积分
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