DEVELOPMENT OF A HYDRAULICALLY SMOOTH WALL SHEAR STRESS SENSOR UTILIZING THROUGH SILICON VIAS

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标题	DEVELOPMENT OF A HYDRAULICALLY SMOOTH WALL SHEAR STRESS SENSOR UTILIZING THROUGH SILICON VIAS
网址	https://doi.org/10.31438/trf.hh2016.63
DOI	10.31438/trf.hh2016.63 doi
其它	期刊：2016 Solid-State, Actuators, and Microsystems Workshop Technical Digest 作者：C.A. Barnard; D. Mills; J. Meloy; M. Sheplak 出版日期：2019-03-28
求助人	小熊在 2026-09-15 16:53:55 发布自四川，悬赏 10 积分
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