Extreme ultraviolet (EUV) degradation of poly(olefin sulfone)s: Towards applications as EUV photoresists

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标题	Extreme ultraviolet (EUV) degradation of poly(olefin sulfone)s: Towards applications as EUV photoresists
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.radphyschem.2010.07.038
DOI	10.1016/j.radphyschem.2010.07.038 doi
其它	期刊：Radiation Physics and Chemistry 作者：Kirsten Lawrie; Idriss Blakey; James Blinco; Roel Gronheid; Kevin Jack; et al 出版日期：2011-02-01
求助人	Virginkiller1984 在 2026-07-14 16:17:03 发布自美国，悬赏 10 积分
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