Nanofabrication of sharp diamond tips by e-beam lithography and inductively coupled plasma reactive ion etching

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标题	Nanofabrication of sharp diamond tips by e-beam lithography and inductively coupled plasma reactive ion etching
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.3263174
DOI	10.1116/1.3263174 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Nicolaie Moldovan; Ralu Divan; Hongjun Zeng; John A. Carlisle 出版日期：2009-11-01
求助人	Stephhen 在 2026-09-20 11:25:43 发布自山东，悬赏 10 积分
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