Time-resolved ion energy distribution in pulsed inductively coupled argon plasma with/without DC bias - 科研通

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标题	Time-resolved ion energy distribution in pulsed inductively coupled argon plasma with/without DC bias
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001737
DOI	10.1116/6.0001737 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Zhiying Chen; Joel Blakeney; Megan Carruth; Peter L. G. Ventzek; Alok Ranjan 出版日期：2022-04-11
求助人	归海书蝶在 2026-07-17 15:02:57 发布自上海，悬赏 10 积分
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