Effect of UV curing time on physical and electrical properties and reliability of low dielectric constant materials

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标题	Effect of UV curing time on physical and electrical properties and reliability of low dielectric constant materials
网址	https://doi.org/10.1116/1.4900854
DOI	10.1116/1.4900854 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Kai-Chieh Kao; Wei-Yuan Chang; Yu-Min Chang; Jihperng Leu; Yi-Lung Cheng 出版日期：2014
求助人	wy1693207859 在 2026-06-26 09:17:19 发布自上海，悬赏 10 积分
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