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Effect of UV curing time on physical and electrical properties and reliability of low dielectric constant materials
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DOI
10.1116/1.4900854 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者:Kai-Chieh Kao; Wei-Yuan Chang; Yu-Min Chang; Jihperng Leu; Yi-Lung Cheng
出版日期:2014
求助人
wy1693207859 在 2026-06-26 09:17:19 发布自上海,悬赏 10 积分
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