60-g FSR, 6-μg Stability FM Time-Switched Accelerometers Through Shaped Comb Fingers

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标题	60-g FSR, 6-μg Stability FM Time-Switched Accelerometers Through Shaped Comb Fingers
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2025.3572614
DOI	10.1109/jmems.2025.3572614 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Luca Pileri; Christian Padovani; Gabriele Gattere; Giacomo Langfelder 出版日期：2025-06-03
求助人	ZZJ 在 2026-09-18 13:26:27 发布自上海，悬赏 10 积分
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