High-bandwidth piezoresistive force probes with integrated thermal actuation

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标题	High-bandwidth piezoresistive force probes with integrated thermal actuation
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/22/9/095012
DOI	10.1088/0960-1317/22/9/095012 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Joseph C Doll; Beth L Pruitt 出版日期：2012-07-26
求助人	秦川在 2026-03-04 16:04:47 发布自山东，悬赏 30 积分
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秦川 Lv1 求助人驳回了我是老大上传的文件

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