Scalable and reproducible sub-5 nm manufacturing for next-generation devices

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标题	Scalable and reproducible sub-5 nm manufacturing for next-generation devices
网址	https://doi.org/10.1088/2631-7990/ae2578
DOI	10.1088/2631-7990/ae2578 doi
其它	期刊：International Journal of Extreme Manufacturing 作者：Lijuan Chen; Sihai Luo; Dongxu Yang; Qi Yuan; Yingfang Zhang; et al 出版日期：2025
求助人	葛一豪在 2026-03-17 15:26:33 发布自河南，悬赏 10 积分
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