Heterogeneous monolithic 3D integration for hybrid vertical CMOS inverter using n-type IGTO TFT on p-type Si FET

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标题	Heterogeneous monolithic 3D integration for hybrid vertical CMOS inverter using n-type IGTO TFT on p-type Si FET
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108871
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108871 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Chanseul Lee; Sunbum Kim; Gyulee Kim; Changhwan Choi 出版日期：2025
求助人	4N 在 2026-05-04 01:03:10 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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