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标题
Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back-end-of-line integration on a 200 mm platform
用于硅后端集成的单层二硫化钼在200 mm平台上的低热预算合成
相关领域
材料科学 薄脆饼 硅 二硫化钼 单层 光电子学 纳米技术 化学气相沉积 CMOS芯片 制作 电子迁移率 集成电路 电子线路 数码产品 热分解 混合硅激光器 绝缘体上的硅 沉积（地质） 基质（水族馆） 化学工程 热的 钼
网址
https://doi.org/10.1038/s41565-023-01375-6
DOI
10.1038/s41565-023-01375-6 doi
其它 期刊：Nature Nanotechnology
作者：Jiadi Zhu; Ji Hoon Park; Steven A. Vitale; Wenjun Ge; Gang Seob Jung; et al
出版日期：2023-04-27
求助人
spark810 在 2024-12-22 01:05:43 发布自美国，悬赏 10 积分
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