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标题
Thickness dependence of Young's modulus and residual stress of sputtered aluminum nitride thin films
相关领域
材料科学 残余应力 模数 氮化物 薄膜 压电 偏转（物理） 复合材料 杨氏模量 极限抗拉强度 铝 材料性能 弯曲 图层（电子） 光学 纳米技术 物理
网址
https://doi.org/10.1063/1.4902448
DOI
10.1063/1.4902448 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Michael Schneider; Achim Bittner; U. Schmid
出版日期：2014-11-17
求助人
海阔天空 在 2026-01-29 10:50:21 发布自山东，悬赏 10 积分
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