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标题
Design and analysis of repulsive electrostatic driven MEMS actuators
排斥静电驱动MEMS驱动器的设计与分析
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网址
https://doi.org/10.1117/12.810791
DOI
10.1117/12.810791 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE
作者：Jun Yao; Fangrong Hu; Dongmei Cai; J. L. Han
出版日期：2009-02-12
求助人
nothing 在 2025-11-18 16:08:43 发布自广东，悬赏 20 积分
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