Plasma-assisted smoothing of textured silicon surfaces for high-efficiency heterojunction solar cells

求助中

文献求助详情

标题	Plasma-assisted smoothing of textured silicon surfaces for high-efficiency heterojunction solar cells
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S01694...
DOI	10.1016/j.apsusc.2021.151450 doi
其它	期刊： Applied Surface Science (2022) 团队：中科院微电子所/光伏器件重点实验室核心内容：提供了一种干法圆化方案，使用低压等离子体处理（如H2/Ar等离子体）对金字塔绒面进行轰击，实现物理性的“削峰”效果。这种方法避免了湿化学处理，与后续PECVD沉积非晶硅的工艺兼容性更好。文章研究了等离子体功率、时间对形貌改变和表面损伤的平衡，并展示了其在HJT电池上的应用效果。
求助人	老师来了在 2026-02-05 15:24:26 发布自山西，悬赏 10 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

当前有 2 位研友正在围观本求助：老师来了谢谢你哟

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
1小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:24:29 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:24:27 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

15:24:26 已向机器人发送请求
1小时前

老师来了 Lv11 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Gins完成签到，获得积分10

1秒前; BowieHuang上传了应助文件

1秒前; 新的旅程完成签到，获得积分10

1秒前; anan发布了新的文献求助10

2秒前; 田様上传了应助文件

2秒前; 小布丁完成签到，获得积分10

2秒前; 山海发布了新的文献求助30

2秒前; JamesPei的应助被科研新牛马采纳，获得10

3秒前; keanu发布了新的文献求助10

3秒前; wangmanli发布了新的文献求助10

3秒前; 王一帆发布了新的文献求助10

3秒前; orixero的应助被Xx丶采纳，获得10

3秒前; 我是老大上传了应助文件

3秒前; 李爱国上传了应助文件

4秒前; 无极微光的应助被现代书雪采纳，获得20

4秒前; adkins完成签到，获得积分10

4秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

5秒前; LL完成签到，获得积分10

5秒前; bkagyin上传了应助文件

5秒前; 小房同学完成签到，获得积分10

5秒前; 柚子发布了新的文献求助10

5秒前; 123发布了新的文献求助10

6秒前; yqcj455完成签到，获得积分10

6秒前; 健壮的幻波完成签到，获得积分10

6秒前; 大大大大管子发布了新的文献求助10

6秒前; fan关注了科研通微信公众号

6秒前; 失眠的冬易完成签到，获得积分10

7秒前; 852的应助被如风随水采纳，获得10

7秒前; 大个上传了应助文件

7秒前; 北辰发布了新的文献求助10

8秒前; wang完成签到，获得积分10

8秒前; monica发布了新的文献求助10

9秒前; 阿超完成签到，获得积分10

9秒前; 小马甲上传了应助文件

9秒前; 刘吉瀚发布了新的文献求助10

9秒前; 调皮的酬海上传了应助文件

10秒前; BroaI发布了新的文献求助10

10秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

10秒前; 科研通AI6.1的应助被SHERO采纳，获得10

11秒前; 山雀发布了新的文献求助10

11秒前