| 标题 |
 Plasma-assisted smoothing of textured silicon surfaces for high-efficiency heterojunction solar cells |
| 网址 | |
| DOI |
10.1016/j.apsusc.2021.151450
doi
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| 其它 |
期刊： Applied Surface Science (2022) 团队： 中科院微电子所/光伏器件重点实验室 核心内容： 提供了一种干法圆化方案，使用低压等离子体处理（如H2/Ar等离子体）对金字塔绒面进行轰击，实现物理性的“削峰”效果。这种方法避免了湿化学处理，与后续PECVD沉积非晶硅的工艺兼容性更好。文章研究了等离子体功率、时间对形貌改变和表面损伤的平衡，并展示了其在HJT电池上的应用效果。 |
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