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Role of Nitrogen in Ferroelectricity of Hf x Zr1-x O2-Based Capacitors With Metal-Ferroelectric-Insulator-Metal Structure 相关领域
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Dong‐Ru Hsieh; Chia‐Chin Lee; Tien‐Sheng Chao 出版日期:2022-03-04 |
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