Surface-micromachined resonant accelerometer

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标题	Surface-micromachined resonant accelerometer 相关领域音叉加速度计谐振器表面微加工声学艾伦方差验证质量波形灵敏度（控制系统）材料科学传感器电子工程光电子学电气工程微电子机械系统工程类计算机科学物理振动电压制作统计数学操作系统病理标准差医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1109/sensor.1997.635237
DOI	10.1109/sensor.1997.635237 doi
其它	期刊：作者：T.A. Roessig; Roger T. Howe; Albert P. Pisano; James H. Smith 出版日期：2002-11-22
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