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 Fabrication Process for Monolithic Integration of a Nitride Superconductor-Based Superconducting Qubit with a Single Flux Quantum Control Circuit 具有单通量量子控制电路的基于氮化物超导体的超导量子位的单片集成制造工艺
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期刊：IEEE Transactions on Applied Superconductivity 作者：Shigeyuki Miyajima; Taro Yamashita; Masamitsu Tanaka; Naoki Takeuchi; K. Inomata; et al 出版日期：2023-02-01 |
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