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An electrical defectivity characterization of wafers imprinted with step and flash imprint lithography
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平版印刷术 薄脆饼 材料科学 纳米技术 闪光灯（摄影） 特征（语言学） 产量（工程） 表征（材料科学） 光电子学 光学 复合材料 语言学 哲学 物理
网址
https://doi.org/10.1117/12.712376
DOI
10.1117/12.712376 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：William J. Dauksher; Ngoc Van Le; K. A. Gehoski; Eric S. Ainley; Kevin J. Nordquist; et al
出版日期：2007-03-16
求助人
tabblk 在 2025-10-27 11:07:22 发布自福建，悬赏 20 积分
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