Novel design of double touch plano-convex mems capacitive pressure sensor: robust design, theoretical modeling, numerical simulation and performance comparison

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标题	Novel design of double touch plano-convex mems capacitive pressure sensor: robust design, theoretical modeling, numerical simulation and performance comparison 相关领域材料科学微电子机械系统电容感应压力传感器正多边形计算机模拟电子工程声学纳米技术机械工程计算机科学模拟电气工程工程类物理数学几何学
网址	https://doi.org/10.1142/s1793292024500863
DOI	10.1142/s1793292024500863 doi
其它	期刊：NANO 作者：Gajula Rukshana Bi; Sumit Kumar Jindal 出版日期：2024-06-05
求助人	科研王者在 2025-10-29 21:31:48 发布自江苏，悬赏 30 积分
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