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Reductive Thermal Atomic Layer Deposition Process for Gold 金的还原热原子层沉积工艺
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期刊:ACS Materials Au 作者:Anton Vihervaara; Timo Hatanpää; Heta-Elisa Nieminen; Kenichiro Mizohata; Mykhailo Chundak; et al 出版日期:2023-01-11 |
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