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标题
Microstructure evolution from silicon core to surface in electronic-grade polycrystalline silicon
电子级多晶硅从硅芯到表面的微观结构演变
相关领域
材料科学 微观结构 硅 多晶硅 芯（光纤） 工程物理 复合材料 冶金 薄膜晶体管 工程类 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1142/s2010135x2440006x
DOI
10.1142/s2010135x2440006x doi
其它 期刊：Journal of Advanced Dielectrics
作者：Jinyue Peng; Yuxuan Yang; Yang Zhang; Xinlu Xue; Bochen Lu; et al
出版日期：2024-03-02
求助人
早日暴富 在 2025-08-28 18:25:10 发布，悬赏 30 积分
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