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 Effect of water dose on the atomic layer deposition rate of oxide thin films 水剂量对氧化物薄膜原子层沉积速率的影响
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期刊：Thin Solid Films 作者：Raija Matero; Antti Rahtu; Mikko Ritala; Markku Leskelä; Timo Sajavaara 出版日期：2000-06-01 |
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