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 https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanolithography-mems-and-moems/volume-19/issue-3/034002/Understanding-the-influence-of-three-dimensional-sidewall-roughness-on-observed/10.1117/1.JMM.19.3.034002.short https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanolithography-mems-and-moems/volume-19/issue-3/034002/Understanding-the-influence-of-three-dimensional-sidewall-roughness-on-observed/10.1117/1.JMM.19.3.034002.short
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