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https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanolithography-mems-and-moems/volume-19/issue-3/034002/Understanding-the-influence-of-three-dimensional-sidewall-roughness-on-observed/10.1117/1.JMM.19.3.034002.short
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网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.19.3.034002
AI链接 tudelft.nl tudelft.nldoi.org
DOI
10.1117/1.JMM.19.3.034002 doi
求助人
LISHAN 在 2025-05-14 15:03:23 发布自北京，悬赏 20 积分
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