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标题
The Optimization of Metasurface lenses Fabrication based on Silicon Pillars within the fab's 12-inch production line
晶圆厂12英寸生产线中基于硅柱的超表面透镜制造优化
相关领域
制作 硅 材料科学 生产线 直线（几何图形） 光学 光电子学 计算机科学 工程类 物理 机械工程 数学 医学 替代医学 几何学 病理
网址
https://doi.org/10.1109/cstic64481.2025.11017946
DOI
10.1109/cstic64481.2025.11017946 doi
其它 期刊：
作者：吴永宇 Wu Yongyu; Fang Xuankai; 杜先常 Du Xianchang; Shi Xiaoming; Fang Wenzhang; et al
出版日期：2025-03-24
求助人
MADKAI 在 2025-06-19 09:57:46 发布自印度，悬赏 10 积分
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