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标题
Study on the performance of InGaN-based micro-LED by plasma etching combined with ion implantation process
等离子体刻蚀结合离子注入工艺对InGaN基微型LED性能的研究
相关领域
材料科学 光电子学 蚀刻（微加工） 等离子体刻蚀 等离子体 过程（计算） 离子注入 离子 纳米技术 计算机科学 化学 物理 图层（电子） 有机化学 量子力学 操作系统
网址
https://doi.org/10.1016/j.nxnano.2024.100101
DOI
10.1016/j.nxnano.2024.100101 doi
其它 期刊：Next Nanotechnology
作者：Yun-Cheng Hsu; Yu-Hsuan Hsu; Chien‐Chung Lin; Ming Hsien Wu; Hao Chung Kuo; et al
出版日期：2024-09-07
求助人
研友_Z33zkZ 在 2025-05-06 11:14:40 发布自美国，悬赏 10 积分
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