Study on the performance of InGaN-based micro-LED by plasma etching combined with ion implantation process

材料科学 光电子学 蚀刻(微加工) 等离子体刻蚀 等离子体 过程(计算) 离子注入 离子 纳米技术 计算机科学 化学 物理 图层(电子) 有机化学 量子力学 操作系统
作者
Yun-Cheng Hsu,Yu-Hsuan Hsu,Chien‐Chung Lin,Ming Hsien Wu,Hao Chung Kuo,Dong-Sing Wuu,Ching‐Lien Hsiao,Ray‐Hua Horng
标识
DOI:10.1016/j.nxnano.2024.100101
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